真空減衰法の原理:
- アンプルを密閉された試験室に入れる
アンプルは、真空環境を維持するように設計された密閉された試験室内に置かれる。 - 試験室からの避難
真空ポンプがチャンバー内の空気を除去し、低圧環境を作り出す。 - 圧力安定段階(平衡段階)
目的の真空レベルに達すると、システムは一定時間安定した圧力を維持し、変化を観察する。 - 圧力変化のモニタリング
- アンプルが適切に密封されている場合:チャンバー内の圧力は大きな変動がなく安定している。
- アンプルが漏れている場合:欠陥からアンプル内に空気が入り、チャンバー内の圧力低下や変動をさらに引き起こし、漏れの存在を示す。



