真空減衰法の原理:
- アンプルを密閉テストチャンバーに設置
アンプルは真空環境を維持できる密閉チャンバー内に設置されます。 - チャンバーの排気
真空ポンプでチャンバー内の空気を排除し、低圧環境を作ります。 - 圧力安定化ステージ(平衡フェーズ)
設定された真空レベルに達すると、圧力を一定時間維持し変化を観察します。 - 圧力変化の監視
- アンプルが適切に密封されている場合:チャンバー内の圧力は安定し、大きな変動はありません。
アンプルに漏れがある場合:欠陥部分から空気が入り、圧力低下や変動が観察され、漏れの存在を示します。